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我司激光退火设备获得SEMI S2认证证书

        近日,我司SLD500系列激光退火设备顺利通过专业公司的安全认证测试,获得SEMI S2认证证书。该设备专为IGBT背面退火量产工艺开发,能恢复离子注入破坏的晶格结构,从而改善器件性能。



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